En el proceso de redistribución, lo importante es el control térmico. Puede haber puntos calientes mientras el compuesto epóxico se solidifica, o desviaciones durante el proceso de secado del fotorresistente. En estos casos, es necesario controlar el ancho de las líneas y la planaridad de las protuberancias. El calentador debe proporcionar una temperatura constante, en todos los chips, en cada lote y en cada turno de trabajo.
Lo que realmente importa Diseñamos el calentador para procesos de WLP utilizando emisores de infrarrojo de onda corta. Se trata de un sistema de calefacción por superficie, lo que permite un calentamiento rápido y preciso. Se logra una uniformidad de ±0.1°C en toda la zona activa, medida en silicio desnudo con termopares. La respuesta del calentador es instantánea, lo cual es importante cuando se necesita un control preciso durante los procesos de secado. El diseño permite operación en entornos de clase 1–100, con baja emisión de gases y sin generación de partículas durante el funcionamiento continuo. En condiciones reales, puede funcionar 24/7, con miles de horas entre intervenciones de mantenimiento.
Por qué funciona bien en producción En el proceso de redistribución, se procede a secar el fotorresistente, solidificar el material de relleno y luego fundir las protuberancias. Cada paso representa un punto crítico para garantizar la calidad del producto. El calentador estabiliza el perfil térmico, asegurando que las dimensiones críticas se mantengan dentro de los parámetros establecidos y que los espacios vacíos sean mínimos. La alta uniformidad reduce las rejectadas debido a defectos en los bordes de la oblea, y la repetibilidad facilita la transferencia de productos entre lotes. El consumo energético disminuye, ya que los emisores de cuarzo calientan directamente la área específica, sin afectar todo el interior de la cámara. Como resultado, se obtienen más chips de buena calidad por oblea, menos trabajos de reparación y mayor tiempo de operación predecible.
Cosas importantes a tener en cuenta desde el principio El calentador se integra en las máquinas existentes para recubrimiento y secado, pero su tamaño y las aberturas deben coincidir con las características de dichas máquinas. Se necesita además una fuente de alimentación dedicada y protección contra interferencias electromagnéticas en las zonas sensibles. Cuando los valores de temperatura superan los 250°C, hay que prestar atención a las interacciones entre el cuarzo y la cerámica. Proporcionamos una curva de reducción térmica. Es importante planificar la integración con antelación, para así acelerar el proceso.