על הרצפה הליתוגרפית
אפייה רכה ב-95°C איננה אופציונלית - זו המפרט. אם אתה נותן לטמפרטורה לסטות ב±0.5°C, פרופיל הפוטורסיסט משתנה. בקרת רוחב הקו שעליה אתה מתאמץ מתמוטטת. מה שאתה צריך זה חום שמגיע מיד, נשאר יציב, ואינו משחרר חלקיקים לחדר הנקי. מה שחשוב מתחת למכסה המנוע אנחנו מפעילים נורות חימום אינפרא-אדום עם תגובה מהירה - אלמנטים הלוגן קצרי גל בתוך מעטפת קוורץ באיכות גבוהה. הן מגיעות לטמפרטורה בתוך מילישניות, מה שנותן לך בקרת לולאה סגורה הדוקה. אחידות ברמת הוופר נשארת בטווח של ±0.1°C על פני משטח האפייה. גיאומטריית הסיב והעיצוב של המחזירים מסודרים כך שיבטלו אזורי חום ונפילה בקצוות, כך שכל דיו מקבל את אותו תקציב תרמי. נורות אלו מיועדות לחדרים נקיים בדרגת Class 1–100, ואנחנו מאשרים אפס ייצור חלקיקים באמצעות ניטור במקום במהלך ריצות ארוכות. למה זה מחזיק מעמד בעיבוד פוטורסיסטים גם באפייה רכה וגם באפייה קשה, החזרתיות היא המבחן. תגובה מהירה מקצרת את עליית הספיגה, כך שאתה מקצר את זמן המחזור מבלי לוותר על בקרת הפרופיל. חומרים תואמים לחדרים נקיים ואיטומים מוצקים מונעים פליטה וזיהום - ספירות החלקיקים נשארות שטוחות, וזמן הפעולה של הכלים נשאר גבוה. אתה גם משתמש בפחות אנרגיה, מכיוון שהחימום מספק חום לפי דרישה ומתקנן במהירות בין האפיות, מה שמפחית את אינרציה התרמית והפסדים. מה שאתה צריך לתכנן עבורו ההתקנה תלויה בהתאמת הכלי: שקע, מתח וגיאומטריית פתח. אם המחזירים אינם תואמים או שהמתקנים קטנים מדי, תראה חוסר אחידות. צפה לוויתור: צפיפות הכוח המקסימלית נותנת לך מהירות, אך היא דורשת קירור יציב ומגעים חשמליים נקיים. אנחנו מספקים שרטוטים ממדיים ומפות כיול עבור כל נורה, כך שתוכל לשלב מבלי שתצטרך לאשר מחדש את כל המערך התרמי.