על רצפת המפעל, הוופרת יוצאת מהשטיפה הסופית — ושם השעון מתחיל. אם תשהה יותר מדי בצד הלח, תראה את הדפוסים קורסים. אם שלב האפייה יסטה אפילו במעלה אחת, אתה נוטע פגמים בפוטו-רזיסט שלא יופיעו עד למבחן החשמלי.
מחמם הייבוש אינו “הכרחי”. זהו נקודת שליטה אמיתית בתהליך.
מה שחשוב מתחת למכסה המנוע
אנו בונים את מחממי הייבוש הללו סביב מספר אחד: אחידות תרמית של ±0.1°C לאורך מישור הוופרת. אנו מגיעים לכך עם פריסת משדר אינפרה אדום (IR) קצר-גל ושליטה במעגל סגור על כל אזור — כך שהנקודת הגדרה היא הטמפרטורה הנמדדת, ולא איזה פרוקסי שהוסק.
חומרי החדר נבחרים עבור פליטת גזים נמוכה, ונתיב זרימת האוויר מסודר כדי להימנע משחרור חלקיקים. בחדר נקי בדרגת 1–100, המערכת שומרת על ייצור חלקיקים נמוך מספיק כדי להגן על ערמת הליתוגרפיה. זה מתורגם לאפייה רכה ואפייה קשה שניתן לחזור עליה, עם יציבות טמפרטורה ששומרת על ממדי קריטיים (CD) וזווית קירות בגבול המפרט.
למה זה חשוב בעיבוד פוטו-רזיסט
פוטו-רזיסט הוא לא סלחני. לא מספיק אנרגיה, וה-film נשאר יבש מדי. יותר מדי, והפוטו-רזיסט זורם או מאבד רגישות. מחמם הייבוש שלנו מספק חום יציב ואחיד עם שליטה הדוקה בתקציב התרמי, כך שאתה מפחית עבודות חוזרות ופסולת.
זה בנוי לפעולה 24/7 — תחזוקה לפי לוח זמנים, לא ניהול משברים. וכיוון שזה מעלה במהירות לנקודת הגדרה עם הפסדי המתנה נמוכים, השימוש באנרגיה יורד. עבורך, זה אומר פחות סטיות, תשואה גבוהה יותר בפעם הראשונה, וזמן מחזור שמתנהל כראוי.
הדברים הפרקטיים שתרצה לתכנן עבורם
התקנה משמעותה התאמת ממשק הכלים וצינור הפליטה לפלטפורמה שיש לך כבר. בשיפוצים, עקבות המחמם עשויים להזדקק לשינויים קטנים. חלון הקוורץ ומערך המשדרים לא אוהבים זעזועים מכניים, לכן תחזוקה מונעת חייבת לעקוב אחרי נוהל הטיפול.
תכנן ריצת הכשרה קצרה לאחר ההתקנה. השתמש בזה כדי לאשר מפות אחידות וביצוע חלקיקים מול הבסיס שלך לפני שתסמוך על זה בייצור.