נורת חימום של אוואטק לאוורור

בחדרי העיבוד, אתם יודעים את הנהלים: שינוי של 0.3°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט יכול לגרום לסטיות של ננומטרים בדיוקי העיבוד, וזה יכול לעלות לכם...