חימום אזורי למתקן ייצור וופרים מתקדם

בקומת הליתוגרפיה, סטייה של 0.3°C במהלך האפייה הרכה של הפוטורזיסט יכולה להוביל לסטיית רוחב קו דרך האצלה ישירות לאובדן תפוקה. התקציב התרמי אינו נותן לך...