安全を守る：湿気の多い場所での赤外線ヒーターの使用 バスルームやサウナに赤外線ライトを設置する際には、バランスを取る必要があります。一方では高温が発生し、もう一方では常に湿気や結露が存在します。もし普通のライトを使ったら、問題が起きてしまいます。水滴がライトの部品に当たるだけで、短絡や電流漏れが起...

揮発性化学物質の近くでウェーハを加熱する際の安全対策 正直に言って、化学洗浄エリアでウェーハを加熱するのは、まるで火遊びのようなものです。周囲には可燃性の蒸気が漂っており、その真ん中には高熱を発する装置があるのです。もし通常の赤外線ランプを使うと、それはまさに災害を招く行為に他なりません。 私たち...

パティオを寒々しくしてしまわないでください（そうすれば収益も減りません） 11月という時期に、美しい屋外ダイニングエリアが全く使われていないのは、本当に残念な光景です。多くのオーナーが、客が寒さの中で食事をしたがらないために、年間の利益のかなりの部分を失ってしまっています。 しかし、実は適切な暖房...

ファブの現場では、フォトレジストを焼成する際に0.5℃の温度変動があれば、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。ウェーハレベルでの熱管理は単なる提案ではなく、必須の要件です。私たちはこの現実を踏まえて加熱プラットフォームを設計しました。 技術的に重要な点としては、当社の近赤外線放射体アレイに...

ワークショップの床面や屋外で作業をするとき、寒さは単に不快なだけではありません。作業のスピードが低下し、顧客も不快に感じ、どんな作業もより大変に感じられます。暖房が追いつかないと、至る所でその影響を感じます。私たちが開発した赤外線ヒーターは、この状況を逆転させるものです。空気が温まるのを待つことな...

リソグラフィーフロアでは、フォトレジストのソフトベーク中に0.3℃のドリフトが発生すると、エッチングを通じてライン幅の変動を引き起こし、歩留まりの損失につながる可能性があります。熱的予算では、二度とチャンスはありません。私たちは、温度を必要な場所—ウエハ上、表面全体、およびプロセスウィンドウ内に維...

ライン上では、ウェーハの熱予算は固定されている。バーンイン中の一箇所のホットスポットが原因で、故障メカニズムが排除されずにデータに混入してしまう。そこで、私たちはその曖昧さを解消するためにウェーハバーンインテスト用の加熱ランプを開発した。 内部で重要なポイント 高速かつ指向性のある熱を実現するため...