クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もし、クラス100（ISO 5）の環境で作業を行っているのであれば、エアフィルターだけでは十分ではないことはご存知でしょう。本当の問題は、目に見えない微小な粒子です。 ほとんどの加熱要素は、高温になると微細な粉塵や破片を放出してしまいます...

赤外線加熱と強制送風：どちらが実際に自分のクリーンルームに適しているのか？ 半導体処理用のオーブンを選ぶ際、重要なのは「熱をどのように伝えるか」という点です。 ほとんどの人は最初に強制送風式を選びます。つまり、空気を加熱してファンで送り出し、それによって被加工物に熱が届くのを待つわけです。しかし、...

もし、浴室やキッチン、あるいは工業用の洗浄エリアに埋め込み式の赤外線ヒーターを設置するなら、それはまるで戦場にそれを置くようなものです。蒸気や水しぶきの影響で、ほとんどのヒーターは機能しなくなってしまいます。内部の部品がダメになり、結局使えなくなってしまいます。 私たちが開発した埋め込み式ヒーター...

浴室のカビを防ぐために：なぜミラーヒーターは単なる暖房機能だけを果たすわけではないのか 多くの人々は、その赤外線ミラーヒーターを見て、「ああ、いいね。シャワーから出た後も寒くないんだ」と思います。しかし実際には、ガラスの向こう側で、快適さとは全く関係のない、壁に関連する素晴らしい効果が起きているの...

お店の暖房を本当に効果的に活用する方法 1月の寒い作業場に入ったことがある人なら、その苦労がわかるでしょう。暖房をつけても、ただ待つだけです。 だから私は天井に設置された赤外線ヒーターを好みます。部屋全体の空気を温めるのではなく、直接自分や工具に熱を送り届けてくれます。まるで寒い日に日光に当たって...

スマートファブで適切な温度制御を実現するには もしインダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているのであれば、従来の加熱方法では不十分だということに気づいているはずです。単に「ヒーターをつければいい」と考えても意味がありません。正確なデータと精密な制御が必要です。 そこで役立つのが、真空環境...

なぜ、すべての赤外線ランプをテストするのか？（そして、なぜあなたがそれを気にすべきか） こちらでは、ランダムな抽出検査は行いません。私たちの工場から出荷されるすべての赤外線ランプは、必ず耐圧試験と絶縁抵抗試験を受けます。例外はありません。 現実を言えば、高ワット数の加熱要素をデジタルコントローラー...

なぜバスルーム用のヒーターはすぐ壊れてしまうのか？（そして、その対処法） 昔ながらのハロゲンヒーターやクォーツヒーターは、ちょうど使いたい時に壊れてしまうことが多いですよね。それは、バスルームという環境が電子機器にとって過酷だからです。蒸気が内部に入り込み、部品が腐食してしまい、やがてショートした...

ストップランプの故障がウェーハの歩留まりを低下させないようにしましょう。 もし真空チャンバー内で高負荷の生産を行っている場合、ランプの破損は単なる問題ではありません。それは悪夢そのものです。石英管が割れると、機械の動作が停止するだけでなく、破片がウェーハに飛び散ります。一度でも破損してしまうと、そ...

なぜ半導体の乾燥において熱風ではなく赤外線を使うのか 正直言って、洗浄工程は通常、作業が遅くなる部分です。 長年にわたり、一般的に使われてきたのは熱風循環方式でした。しかし、これは要するに、ウェーハを乾燥させるために巨大な空気の箱を加熱しているに過ぎません。時間や電力の無駄に思えます。 そのため、...

バイオセンサーの設備を安全に保つために（そして、あなたの精神を健全に保つために） バイオセンサーを製造する際には、温度を正確にコントロールする必要があります。しかし問題は、わずかな電気的なアークや漏れ電流だけで、一括して作られた敏感な基板がすべて破壊されてしまうことです。さらに悪いことに、ブレーカ...

なぜIRランプの絶縁試験にこだわるのか 赤外線硬化ランプを使用するとき、高温と高電圧という過酷な環境に置かれます。そのような環境では、わずかな絶縁不良が起きただけでは済みません。単にヒューズが切れるだけではなく、生産ライン全体が一瞬で破壊されてしまう可能性もあります。さらに悪いことに、その装置は操...

グローブボックスの温度を適切に調整する方法 スマートファブで作業している方なら、他の設備に影響を与えずに材料の温度を適切に保つのがどれほど難しいかご存知でしょう。従来の対流式ヒーターは遅く、十分な性能を発揮しません。そのため、私たちはIRヒーターを採用しています。IRヒーターは速く、精度も高く、デ...

どうやってバスルームがヒーターを壊すのを防ぐか 正直言って、バスルームは電子機器にとって最悪の環境です。濃い蒸気や水しぶき、そして極端な温度変化によって、どんな回路板もダメになってしまいます。ほとんどのヒーターは、そういった状況に耐えられるように作られていません。湿気を吸収してショートし、結局使え...

浴室のカビ問題を解決しよう（ファンに頼るだけではなく） ほとんどの人は、天井ヒーターというのはシャワーを浴びた後に体が温まるためのものだと思っています。しかし、実際にはもっと複雑な働きがあります。私たちがこの装置を設計する際には、カビが好んで潜みやすい場所、例えば目地や天井の隅々にある湿気を取り除...

もう、バスルームのカビと戦わないでください。 多くの人は、赤外線ヒーターを、シャワーから出た後に体が震えるのを防ぐためのものだと思っています。しかし実際には、それ以上に厄介な問題、つまり湿気を解決するためのものなのです。 秘密はこうです。私たちは単に空気を温めているわけではありません。短波赤外線を...

装置を加熱するのはやめよう：ベンチヒーティングのより良い方法 クリーンルームで働いたことがある人なら、その苦労がわかるでしょう。特定の部品を所定の温度にしなければならないのですが、装置全体をオーブンのようにしてしまうわけにはいきません。 通常の対流式ヒーターは、まるで熱弾のように、熱をあちこちに放...

バスルームの適切な温度を設定するには 防水型の赤外線ヒーターを選ぶとき、できるだけ高いワット数のものを選びたくなります。しかし、実際には、ワット数が多いからといって必ずしも良いわけではありません。重要なのは、どれだけの範囲を温めたいかということです。 ワット数を過度に高くしてしまうと、電気代が無駄...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために クラス100（ISO 5）の環境を維持するには、まさにほこりとの戦いが必要です。ごく微小な粒子すべてが敵となります。問題は、一般的なヒーターが実は問題の原因であることです。ヒーターが加熱されると、微細な破片が放出されてしまいます。 だから...

マシンを加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。 半導体製造現場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハを所定の温度に持っていく必要がありますが、ほとんどの赤外線ランプは、単なる電球のようなもので、熱があらゆる方向に放出されてしまいます。これは無駄遣いです。さらに...

浴室用ヒーターが故障しないようにするために 正直言って、浴室というのは電子機器にとって最悪の環境です。そこでは、数秒で極端な高温になり、さらに蒸気や結露による影響も受けます。これはまさに災害を招く状況です。もしシールが緩んだり、クォーツ管に微細なひびが入ったりすると、その製品は使えなくなってしまい...

金反射材を使用したIRランプの短絡を防ぐために 私たちが設計する金反射材を搭載したIRランプは、熱密度をできるだけ高めるように作られています。しかし問題は、より良い反射効果を得るために金コーティングを施すと、高エネルギーを持つ部品が金属製のケースの中に入ってしまうことです。注意しなければ、これは短...

金コーティングされた赤外線ランプ：ランプの破損というトラブルなしで、半導体製造ラインを安定して稼働させる 私たちが金コーティングされた赤外線ランプを開発する理由は、単純です。それは、ランプが破損してウェハーが汚染されるといった最悪の事態を避け、大量生産が行えるようにするためです。 24時間365日...

リソグラフィーの工程において、フォトレジストの加熱処理は単なる工程の一つではありません。それは、絶対に見過ごしてはならない重要な要素です。ソフトベイクやハードベイクの温度が半度でもずれると、重要な寸法制御が崩れ、ウェーハの側壁形状も乱れてしまいます。従来のオーブンでは、熱容量が大きく、温度上昇が遅...

リソグラフィーフロアでは、95℃のソフトベイクはオプションではなく、仕様です。この温度が±0.5℃ずれてしまうと、フォトレジストのプロファイルが変わります。あなたが苦労しているライン幅の制御が崩れます。必要なのは、瞬時に到達し、安定して保持し、クリーンルームに粒子を放出しない熱です。 内部で重要な...

ファブフロアではお馴染みのことだが、ベイク温度が0.5℃ずれるだけで重要寸法がナノメートル単位で変動し、いつの間にか大量にスクラップを出してしまう。従来のランプはオゾンも発生させるため、光学系を損傷させ、チャンバーに付着物を作る。これによりパーティクル数が増加し、予期せぬメンテナンスのためにライン...

はじめに 私たちがこの赤外線ヒーターを作った理由は一つ：必要な場所に、素早く、強烈な熱を届けるためです。直接的で、無駄なし。 設置してしまえば忘れてしまうタイプのソリューションです。ターゲットに向かって集中した温かさを感じるまでは、部屋全体を暖めるわけではありません。 その心臓部は？ハロゲンガスを...