에너지 효율적인 웨이퍼 가열기

왜 웨이퍼 처리에는 적외선 가열이 열공기 가열보다 우수한가? 만약 여전히 반도체의 고도화된 처리 과정에서 열공기를 사용하고 있다면, 아마도 대기하는 데 너무 많은 시간을 낭비하고 있을 것입니다. 적외선 가열로 전환하는 것은 단순한 ‘업그레이드’가 아닙니다. 이는 생산...