可用于冲洗的防水红外线灯

为何我们在半导体干燥过程中放弃热风烘干，转而使用红外线技术？ 说实话，清洗阶段往往是整个流程中最耗时的环节。多年来，人们一直使用热风循环的方式来烘干晶圆。但这种做法其实相当于为了烘干晶圆而加热一大团空气，显然是一种浪费时间和电力的方式。 因此，我们改用了防水型红外线灯。这类灯不会让整个空间变暖，而...