光学晶圆加工加热器

在芯片制造现场，情况其实很明确：只要光刻胶的烘烤温度有哪怕一点点偏差，整批产品都会变成废品。因此，光刻晶圆的加工过程依赖于稳定、均匀且可控的热量供应。我们设计了这款加热器，就是为了满足这些要求——因为这里容不得任何误差。 从技术层面来看，重要的是什么？ 我们确保整个晶圆表面的温度稳定性在...