工业晶圆干燥系统加热器

在晶圆厂车间，晶圆刚从最后一次清洗中取出——这时计时开始。如果在湿区停留时间过长，会导致图案坍塌。即使烘烤步骤温度波动一度，也会产生光刻胶缺陷，这些缺陷直到电气测试时才会显现。 干燥加热器并非“可有可无”的设备，它是一个真正的工艺控制点。 内部关键参数 我们设计这些干燥加热器的核心指标是：晶圆平面...