工厂干燥系统的能源审计

在制造过程中，干燥并非仅仅是在清洁之后进行的步骤而已。实际上，残留的水分以及不均匀的热量会逐渐侵蚀光刻层的边缘，进而影响光刻胶的性能。如果烤箱无法保持整个晶圆表面的温度一致，就会出现边缘缺陷、表面不平整等问题。这会导致产品报废、需要重新加工，同时还会增加额外的能源消耗。 至关重要的因素 我们设计的...