无臭氧红外灯

在晶圆厂车间，你对工艺流程非常熟悉：烘烤温度漂移0.5°C即可导致关键尺寸偏差纳米级，接下来你可能就得报废大量产品。传统灯具还会释放臭氧，损伤光学元件并污染腔体。颗粒数上升，设备不得不返厂进行非计划维护。我们开发了一款无臭氧红外灯，以消除这一变量。 核心技术细节 我们采用短波红外发射器，针对光刻胶...