Evatec蒸发器加热灯

在光刻生产线上，你知道的，任何0.3°C的温度波动都可能让薄膜的厚度出现纳米级的误差，进而带来巨大的损失。Evatec的蒸发器加热灯正是为了解决这个问题而设计的。 真正重要的其实是内部机制 我们使用的是具有闭环控制的短波红外石英发光体，这样就能确保晶圆表面的温度均匀性保持在±0.1°C以内。响应时...