节能型晶圆加热器

为何红外加热比热风加热更适用于晶圆加工 如果你们仍然使用热风循环的方式来进行半导体的深度加工，那很可能意味着你们正在浪费大量时间在等待上。采用红外加热并非只是为了追求“升级”而已，其真正意义在于让生产流程更加高效，避免因等待而浪费时间。 热风加热的弊端 试想一下热风加热的原理：风扇将加热后的空气吹...