MEMS传感器晶圆干燥炉

如何让MEMS晶圆在干燥过程中不受损害？ 干燥MEMS传感器晶圆其实是一项非常微妙的任务。需要让水分迅速蒸发，但若处理不当，就会给晶圆带来机械应力，从而导致其损坏。 我们找到了一个解决方案：使用红外加热器，再配合镀金反射器。这样做的好处在于，热量能够直接作用于晶圆表面，而不是仅仅加热机器内部。 为...