如何保持100级洁净室的无尘状态 如果你正在运营一个100级（ISO 5标准）的洁净室，那么你一定知道，仅靠空气过滤器是无法完全实现洁净环境的。真正的问题在于那些看不见的微小颗粒——它们会随时出现。 大多数加热元件在高温环境下都会出现问题，因为它们会释放出微小的碎片。如果用于包装敏感的传感器，那可...

停止浪费热量：更有效的晶圆加热方式 对硅晶圆进行加热时，精度至关重要。但问题在于：普通的红外灯会向各个方向散发热量——也就是360度全方位辐射。在空间有限的半导体生产环境中，这些热量不会只作用在晶圆上，还会传导到设备的内壁上。这样一来，设备外壳也会变得极其炽热。这不仅浪费了能源，对那些需要站在机器...

如何让MEMS晶圆在干燥过程中不受损害？ 干燥MEMS传感器晶圆其实是一项非常微妙的任务。需要让水分迅速蒸发，但若处理不当，就会给晶圆带来机械应力，从而导致其损坏。 我们找到了一个解决方案：使用红外加热器，再配合镀金反射器。这样做的好处在于，热量能够直接作用于晶圆表面，而不是仅仅加热机器内部。 为...

如何消除灰尘：如何实现真正无污染的加热效果 在100级洁净室中，哪怕只有一粒灰尘存在，都会带来严重后果。如果加热元件开始脱落颗粒或释放有害气体，那不仅会损坏几块晶圆，还会让整批产品都报废。这简直就是一场噩梦。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。**秘诀就在于玻璃材质本身。**普通玻璃中含有...