در فرآیند لیتوگرافی، فرآیند حرارتدهی به فوتورزیست، صرفاً یک مرحله عادی نیست؛ بلکه یک فرآیند حرارتی است که نمیتوان از آن غفلت کرد. حتی تغییر کوچکی در دمای حرارتدهی، میتواند باعث اختلال در کنترل ابعاد مهم قطعات شود و همچنین تأثیر منفی بر پروفایل سطوح جانبی قطعات داشته باشد. فرزهای معمولی دارای جرم حرارتی زیادی هستند و روند حرارتدهی آنها آهسته است؛ همچنین خطر وجود ذرات ناخواسته نیز وجود دارد. خشککن مادونقرمز برای تراشهها، به گونهای طراحی شده است که این مشکلات را از بین ببرد.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما از فرستندههای نور مادونقرمز برای حرارتدهی استفاده میکنیم؛ این فرستندهها دارای طراحی کوتاهامواج و بدون هالوژن هستند و انرژی را مستقیماً به قطعات منتقل میکنند. این روش باعث میشود که دمای قطعات در کمتر از ۱۰ ثانیه استابیل شود و تفاوت دمایی در سطح قطعات نیز در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد باشد. تکرارپذیری دما نیز در حد ±۰.۲ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین فرآیند حرارتدهی فوتورزیست کنترل بهتری خواهد داشت. این دستگاه برای اتاقهای پاکسازی کلاس ۱–۱۰۰ مناسب است؛ همچنین دارای پنجرههای کوارتزی بسته و سیستم تهویه مناسبی است که از تولید ذرات در حین کار جلوگیری میکند. کنترل دما نیز از طریق سیستم PID انجام میشود؛ بنابراین میتوانید پارامترهای فرآیند را به خوبی کنترل کنید.
چرا این دستگاه مناسب است؟
شما از ورقهای ۲۰۰ میلیمتری و ۳۰۰ میلیمتری، لایههای نازک فوتورزیست، و فرآیندهای حرارتی استفاده میکنید؛ بنابراین نمیتوانید از اختلالات در فرآیند حرارتدهی غفلت کنید. این خشککن به سرعت دمای لازم را ایجاد میکند، بدون اینکه باعث اختلالاتی شود؛ در نتیجه زمان فرآیند کاهش یافته و مصرف انرژی نیز کمتر میشود. این دستگاه میتواند در ابزارهای مختلف یا به صورت مستقل نیز استفاده شود؛ همچنین ابعاد آن آنقدر کوچک است که فضای کافی برای قرارگیری آن وجود دارد. این دستگاه باعث کاهش تعداد قطعات باکیفیت پایین، توزیع یکنواختتر ابعاد قطعات، و کاهش هزینهها میشود. قابلیت اطمینان این دستگاه در حد دهها هزار بار فرآیند حرارتدهی است؛ همچنین طول عمر فرستندههای نوری نیز به اندازهای است که امکان استفاده ۲۴ ساعته از آن را فراهم میکند.
جزئیاتی که باعث کارایی این دستگاه میشوند:
نور مادونقرمز به سرعت دما را افزایش میدهد؛ بنابراین باید به ارتباط حرارتی توجه کرد. قسمتی که قطعات روی آن قرار میگیرند، باید با سطح پشتی قطعات هماهنگ باشد؛ ما هم قسمتهای استاندارد و هم قسمتهای سفارشی را برای این منظور فراهم میکنیم. برای تنظیم سرعت حرارتدهی، نیاز به یک تست کوتاه وجود دارد. نیازهای انرژی این دستگاه نیز ساده است: ولتاژ ۱۱۰–۲۴۰ ولت، هوای فشرده، و سیستم تهویه؛ اما قبل از نصب، باید ولتاژ محلی و فشار اتاق پاکسازی را بررسی کرد.