در فرآیندهای لیتوگرافی، همانطور که میدانید، اختلاف دمایی ۰.۳ درجه سانتیگراد در حین فرآیند پخت رزیست، میتواند باعث اختلالات نانومتری در ساختار قطعات شود و هزینههای زیادی را به همراه داشته باشد. لامپهای گرمایشی Evatec، برای جلوگیری از این اختلافات طراحی شدهاند.
چه چیزی واقعاً اهمیت دارد؟
ما از فرستندههای نوری نوع کوارتز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ این فرستندهها دارای سیستم کنترل خودکار هستند. به این ترتیب، یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود. زمان پاسخگویی این لامپها کمتر از ۲۰۰ میلیثانیه است؛ بنابراین تغییرات دمایی به سرعت اعمال میشوند، بدون اینکه باعث اختلالاتی در ساختار قطعات شوند. بدنه لامپها نیز مناسب استفاده در محیطهای پاک با درجه پاکیزگی ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین، طراحی این لامپها به گونهای است که از ورود ذرات ناخواسته جلوگیری شود. خروجی این لامپها در طول بیش از ۵,۰۰۰ ساعت کاری، پایدار باقی میماند و اختلاف دمایی آنها کمتر از ۵٪ است.
چرا این لامپها در فرآیندهای لیتوگرافی و پخت رزیست مورد استفاده قرار میگیرند؟
در فرآیندهای لیتوگرافی و پردازش رزیست، دمای مناسب برای پخت، تأثیر مستقیمی بر ابعاد و کیفیت قطعات دارد. Evatec باعث میشود که پروفایلهای دمایی یکنواخت باقی بمانند؛ بنابراین کنترل ابعاد قطعات و بازدهی تولید، در هر بار تولید، یکنواخت خواهد بود. گرمای تولید شده توسط این لامپها سریع و پایدار است؛ این امر باعث کاهش زمان تولید و صرفهجویی در مصرف انرژی میشود.
در خطوط بستهبندی نیز، همین دقت باعث میشود که فرآیند خشک شدن پلیمرها به خوبی انجام شود؛ این امر باعث کاهش اشکالات و نیاز به تولید مجدد قطعات میشود. در نتیجه، تعداد تولیدات ناموفق کمتر میشود و میتوانید زمان تولید را به خوبی برنامهریزی کنید.
چه چیزهایی برای حفظ کیفیت لامپها لازم است؟
لامپها به راحتی در دستگاههای Evatec نصب میشوند؛ اما برای حفظ کیفیت، به یک منبع تغذیه پایدار و تماسهای الکتریکی تمیز نیاز دارند. همچنین، انتخاب مواد مناسب برای ساخت چاک و فرستندههای نوری نیز اهمیت دارد؛ ما مشخصات فنی مربوط به استفاده از آلومینیوم، سرامیک و سطوح پوششدار را نیز در اختیار داریم.
توصیه میشود که هر سه ماه یکبار لامپها را کالیبره کرده و سالانه نیز آنها را بررسی کنید؛ این کار باعث میشود که یکنواختی دمایی و تعداد ذرات ناخواسته در سطح مورد نظر باقی بماند.