บนพื้นผิวของชิป แค่มีคราบน้ำเพียงเล็กน้อยก็เพียงพอที่จะทำให้ชิปทั้งชุดเสียหายได้ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องใช้น้ำที่ผ่านการกรองให้บริสุทธิ์ หากไม่สามารถกำจัดความชื้นออกได้อย่างสมบูรณ์ ก็จะเกิดการปนเปื้อน และทำให้การยึดเกาะของสารฟอโตรีซิสต์แย่ลง การใช้วิธีการทำให้แห้งแบบปกติจะทำให้เกิดความแตกต่างของอุณหภูมิบนพื้นผิวชิป ซึ่งจะส่งผลต่อกระบวนการทำให้ชิปแห้ง นอกจากนี้ หากเครื่องทำความร้อนไม่มีความเสถียร อนุภาคที่หลุดออกมาก็อาจทำให้จำนวนอนุภาคในห้องสะอาดเกินมาตรฐานได้
แล้วเราจะแก้ปัญหานี้ได้อย่างไร? เราได้ออกแบบเครื่องทำให้น้ำบริสุทธิ์แห้งโดยใช้เครื่องกำเนิดรังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ซึ่งถูกห่อหุ้มไว้ในซิลิกาเจล วิธีนี้ไม่มีการสัมผัสกันโดยตรง ทำให้ชิปแห้งได้อย่างรวดเร็ว และมีเวลาตอบสนองในระดับไม่กี่วินาที
ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนพื้นผิวชิปจะอยู่ในช่วง ±0.1°C ตลอดกระบวนการผลิต ดังนั้นจึงไม่มีปัญหาเรื่องความควบคุมขนาดของชิป ประสิทธิภาพการทำงานจะคงที่ตั้งแต่ 10% ถึง 100% ซึ่งช่วยให้ความสม่ำเสมอของผลิตภัณฑ์อยู่ในระดับที่ดี ตัวเครื่องสามารถใช้งานได้ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 และเราได้ตรวจสอบแล้วว่าไม่มีอนุภาคใดๆ เกิดขึ้นเลย ความหนาแน่นของพลังงานถูกปรับให้เหมาะสม เพื่อกำจัดความชื้นบนพื้นผิวชิปโดยไม่ทำให้สารฟอโตรีซิสต์สูญเสียคุณสมบัติไป
ในการทำความสะอาดและทำให้ชิปแห้ง อุปกรณ์นี้สามารถทำให้ชิปแห้งได้อย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอ โดยไม่มีรอยเปื้อนหรือคราบน้ำเหลืออยู่ก่อนที่จะเริ่มกระบวนการประมวลผลชิป
เมื่อเข้าสู่ขั้นตอนการประมวลผลสารฟอโตรีซิสต์ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมินี้จะช่วยลดความเบี่ยงเบนของขนาดชิป และช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิต การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะความร้อนจะถูกส่งไปยังจุดที่ต้องการโดยตรง ไม่ต้องใช้พลังงานไปกับการทำให้อากาศรอบๆ ร้อนขึ้น
ความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์นี้ได้รับการพิสูจน์แล้วในการใช้งานตลอด 24/7 โดยมีเวลาการทำงานมากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีความเบี่ยงเบนของประสิทธิภาพการทำงานน้อยกว่า 5% และไม่มีเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิดในกระบวนการผลิตขนาดใหญ่
การติดตั้งอุปกรณ์นี้จำเป็นต้องมีระบบจ่ายไฟที่เหมาะสม และต้องมีการควบคุมกระแสไฟให้คงที่ เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1°C อุปกรณ์นี้สามารถใช้ร่วมกับอุปกรณ์ OEM มาตรฐานได้ แต่ต้องรักษาให้เส้นทางแสงไม่มีความชื้นหรือน้ำค้าง โดยต้องมีการระบายอากาศเพื่อหลีกเลี่ยงความชื้น
ควรมีการปรับแต่งเครื่องกำเนิดรังสีทุกๆ 1,000 ชั่วโมง เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของผลิตภัณฑ์ไว้