ในโรงงานผลิตชิป การอบแห้งไม่ใช่เพียงขั้นตอนที่ทำหลังจากการทำความสะอาดเท่านั้น แต่ยังเป็นขั้นตอนที่ช่วยขจัดความชื้นส่วนเกินและความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิ ซึ่งจะส่งผลเสียต่อคุณภาพของชิปได้ เมื่อเตาอบไม่สามารถรักษาอุณหภูมิให้สม่ำเสมอได้ ก็จะเกิดปัญหาต่างๆ เช่น ขอบของชิปเสียรูป หรือค่า CD ไม่สม่ำเสมอ ซึ่งส่งผลให้เกิดชิปที่ไม่มีคุณภาพ ต้องมีการผลิตใหม่ และยังส่งผลให้เกิดค่าใช้จ่ายเพิ่มขึ้นอีกด้วย
สิ่งที่สำคัญจริงๆ คืออะไร?
เราออกแบบระบบควบคุมอุณหภูมิเพื่อให้เกิดความสม่ำเสมอในระดับวาเฟอร์ โดยมีเป้าหมายให้อุณหภูมิอยู่ในช่วง ±0.1°C ทั้งในขั้นตอนการอบอุ่นและการอบที่มีอุณหภูมิสูง แหล่งกำเนิดความร้อนคือรังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ซึ่งช่วยให้เกิดการถ่ายเทความร้อนได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่มีการเกินอุณหภูมิที่กำหนด นอกจากนี้ ระบบยังต้องเข้ากันได้กับสภาพแวดล้อมในห้องที่มีมาตรฐาน Class 1–100 และเรายังมีระบบตรวจสอบเพื่อให้มั่นใจว่าไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นเลย ระบบนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด และยังมีระบบดูแลรักษาเพื่อป้องกันไม่ให้เกิดปัญหาเกี่ยวกับอุณหภูมิอีกด้วย เรายังมีการบันทึกข้อมูลการใช้พลังงานต่อแต่ละชุดการผลิต เพื่อให้สามารถติดตามปริมาณพลังงานที่ใช้ต่อวาเฟอร์ได้ ซึ่งจะช่วยให้สามารถประเมินคุณภาพของชิปได้โดยตรง
เหตุผลที่สิ่งเหล่านี้มีความสำคัญในทางปฏิบัติก็คือ การควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวดจะช่วยรักษาคุณภาพของชิป ลดข้อบกพร่องที่เกิดขึ้นที่ขอบของชิป และทำให้ค่า CD อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด ข้อมูลเกี่ยวกับการใช้พลังงานจะช่วยให้การอบแห้งกลายเป็นกระบวนการที่สามารถควบคุมได้ ซึ่งจะช่วยลดค่าใช้จ่ายในการผลิต ลดเวลาการผลิต และลดการใช้ก๊าซและไฟฟ้า นอกจากนี้ การควบคุมอุณหภูมิที่ดีจะช่วยให้คุณภาพของชิปสม่ำเสมอมากขึ้น และลดความแปรปรวนระหว่างชุดการผลิตต่างๆ
การปรับปรุงระบบนี้ทำได้ง่าย แต่คุณต้องปรับให้เหมาะสมกับโครงสร้างของอุปกรณ์ การวางตำแหน่งพอร์ต และระบบระบายอากาศ คาดว่าจะต้องใช้เวลาสักหน่อยในการปรับแต่งอัตราการเพิ่มอุณหภูมิและเวลาในการอบให้เหมาะสมกับสูตรการผลิตของคุณ สิ่งหนึ่งที่ควรคำนึงถึงคือ คุณต้องมีการควบคุมอุณหภูมิให้ลดลงอย่างช้าๆ เมื่อเปลี่ยนจากการทำความสะอาดด้วยอุณหภูมิต่ำไปเป็นการอบด้วยอุณหภูมิสูง มิฉะนั้นอาจเกิดความเสียหายต่อชิปได้ ควรวางแผนเรื่องการไหลของอากาศและเส้นทางระบายอากาศตั้งแต่เนิ่นๆ เพราะความสม่ำเสมอของระบบและคุณภาพของชิปขึ้นอยู่กับการวางแผนนี้ด้วย.