Fabrikada işler böyle yürür. Foto dirençlerin ısıtılması sırasında meydana gelen 0,3°C’lik bir değişiklik bile ürün kalitesini bozabilir ve büyük maliyetlere yol açabilir. Evatec’in buharlaştırıcı ısıtma lambaları, bu tür değişikliklerin başlamasını engelleyecek şekilde tasarlanmıştır.
Asıl önemli olan şeyler
Kapalı döngü kontrolüyle çalışan kısa dalga boyundaki NIR kuvars yayıcılar kullanıyoruz; böylece wafer üzerindeki termal düzenlilik ±0,1°C aralığında korunur. Yanıt süresi 200 ms’nin altındadır; bu da ayar noktalarının hızlı bir şekilde sabitlenmesini sağlar. Lamba gövdesi Class 1–100 standartlarına uygun şekilde tasarlanmıştır ve parçacık kontrolü sayesinde uzun süreli kullanımlarda kirlenme oluşmaz. Çıkış gücü 5.000 saatten fazla bir süre boyunca stabil kalır ve değişim oranı %5’in altında tutulur.
Neden bu teknoloji litografi ve ısıtma işlemlerinde kullanılır?
Litografi ve foto direnç işlemlerinde, yumuşak veya sert ısıtma sıcaklıkları kritik ölçümleri ve yapışma özelliklerini belirler. Evatec, ısıtma işlemlerinin tekrarlanabilir olmasını sağlar; böylece her parti arasında kalite standartları sabit kalır. Isıtma hızlı ve stabil olduğundan, işlem süresi kısalar ve her wafer için harcanan enerji azalır.
Paketleme hatlarında da aynı hassasiyet, polimerlerin düzgün şekilde kurumasını sağlar; bu da hataları ve yeniden işlemleri azaltır. Böylece daha az hata, daha az mühendislik gereksinimi ve planlanabilir bir üretim süresi elde edilir.
Her şeyin doğru şekilde çalışması için neye ihtiyaç var?
Lambalar Evatec buharlaştırıcılarına kolayca yerleştirilebilir; ancak kontrol döngüsünün doğru çalışabilmesi için stabil bir güç kaynağı ve temiz elektrik kontakları gereklidir. Chuck malzemesi ve emisivitesinin de uyumlu olması önemlidir; alüminyum, seramik ve kaplı yüzeyler için özel uygulama notları mevcuttur.
Üç aylık kalibrasyon ve yıllık kontrol işlemleri yapılmalıdır. Böylece homojenlik ve parçacık sayısı istenen seviyede tutulur.