IR yarı iletken ısıtıcılar için doğru termal verileri elde etme
Eğer akıllı bir üretim tesisleri kuruyorsanız, sadece “sıcaklığı kontrol etmenin” yeterli olmadığını muhtemelen fark etmişsinizdir. Wafer’ınızda gerçekte neler olduğunu anlatacak verilere ihtiyacınız var. Bizim için bu, lambadan çıkan ışının tam da istediğiniz şekilde wafer’in yüzeyine ulaştığından emin olmak için özel termokuplları kızılötesi sistemlerle birleştirmek anlamına geliyor.
Kızılötesi sensörlerin işleyişi
Kızılötesi sistemler oldukça güçlüdür; enerjiyi çok hızlı bir şekilde iletirler. Buna ayak uydurabilmek için de aynı hızda tepki verebilen termokupllara ihtiyaç vardır.
Dijital sistemlerde sensörler, sadece ısıtıcının çalıştığını bildirmekle kalmaz; aynı zamanda PLC’ye sürekli olarak voltaj verileri göndererek güç döngülerini anlık olarak ayarlamaya olanak tanır.
Ancak “termal kütle” konusuna dikkat etmek gerekir. Eğer sensörünuz çok büyükse, tepki süresi yavaşlar. Bu durumda hedef sıcaklığın üzerine çıkılır ve bu da wafer’in bozulmasına neden olur. Bu yüzden biz ince yapıdaki termokuplları tercih ediyoruz; böylece tepki süresi daha hızlı olur.
Verilerin gerçekten faydalı hale getirilmesi
Dijitalleştirilmiş üretim tesislerinin en büyük avantajı, elde edilen detay seviyesidir. Bu sensörleri, ısındaki her küçük değişikliği kaydeden bir sisteme bağlıyoruz. Ayrıca bu sayede ekipmanların ne zaman yorulduğunu görebilirsiniz. Eğer sistemin aynı sıcaklığa ulaşmak için normalden daha fazla güç kullandığını fark ederseniz, ısıtma elemanının yıprandığını anlarsınız. Böylece üretim sırasında meydana gelebilecek sorunları önlemiş olursunuz.
Tercihler ve dezavantajlar (çünkü hiçbir şey mükemmel değildir)
Hassasiyet bedelsiz kazanılmaz. O yüksek hassasiyetli termokupullar oldukça kırılgandır. Yüksek güçlü kızılötesi ortamlarda çalıştığınız için sensörler radyant ısıdan etkilenebilir. Bu da okumaların yanlış olmasına neden olur. Bu yüzden kabloların korunması çok önemlidir. Eğer odadaki ısıya dayanabilecek yalıtım malzemeleri kullanmazsanız, kablolar erir ve veri akışı kesilir.