
آئی آر حرارت کیوں ویفر پروسیسنگ کے لئے ہاٹ ایر سے بہتر ہے؟
اگر آپ اب بھی سیمی کنڈکٹرز کی گہری پروسیسنگ کے لئے ہاٹ ایر کا استعمال کر رہے ہیں، تو آپ شاید بہت زیادہ وقت صرف انتظار میں ہی گزار رہے ہیں۔ آئی آر حرارت کا استعمال کوئی خاص “بہتری” نہیں ہے؛ بلکہ یہ تو پروڈکشن کی رفتار کو بہتر بنانے کا ایک طریقہ ہے۔
ہوا کے استعمال سے متعلق بنیادی مسائل
ہاٹ ایر کے کام کرنے کے طریقے پر غور کریں۔ فینوں کی مدد سے گرم ہوا کو ایک جگہ سے دوسری جگہ منتقل کیا جاتا ہے، تاکہ وہ ویفر تک پہنچ کر اسے درکار توانائی فراہم کرے۔ لیکن یہ عمل بہت سست ہے۔ اس کے علاوہ، ایسا لگتا ہے جیسے ہیئر ڈرائر کی مدد سے کمرے کو گرم کیا جا رہا ہے… یعنی بہت زیادہ وقت صرف ہوا کو حرکت دینے میں ہی صرف ہو رہا ہے۔
آئی آر حرارت مختلف ہے۔ یہ الیکٹرومیگنیٹک تابکاری ہے؛ اس کی توانائی روشنی کی رفتار سے حرکت کرتی ہے، اور براہِ راست ویفر تک پہنچتی ہے۔ اس طرح، وقت صرف چند منٹوں سے کم ہو کر چند سیکنڈوں میں ہی ختم ہو جاتا ہے… یہ واقعی بہت بڑا فرق ہے۔
بلاکیجوں کو دور کرنا
گہری پروسیسنگ میں وقت ہی سب کچھ ہے۔ عموماً وقت ہی وہ چیز ہے جس کی وجہ سے کام رک جاتا ہے۔
آئی آر لیمپوں کی مدد سے، آپ صرف مطلوبہ جگہ پر ہی حرارت پیدا کر سکتے ہیں… آپ کو پورے چیمبر کو گرم کرنے کی ضرورت نہیں ہے، تاکہ ایک ویفر کو مناسب درجہ حرارت تک پہنچایا جا سکے۔ اس طرح، PID کنٹرولرز بہت تیزی سے اپنے ہدف تک پہنچ سکتے ہیں۔
ہم عموماً شارٹ-ویو یا میڈیم-ویو آئی آر کا استعمال کرتے ہیں… کیوں؟ کیوں کہ ہمیں چاہیے کہ توانائی ویفر کے اندر ہی جائے، نہ کہ صرف اس کی سطح پر ہی رہے۔
مشکلات
لیکن، آپ صرف ہیٹر کو ہٹا کر کام ختم نہیں کر سکتے… آئی آر حرارت کی سمت مخصوص ہے۔ اگر لیمپ کی سمت درست نہ ہو، یا ویفر سطحی ہو، تو کچھ جگہوں پر زیادہ حرارت پیدا ہو جاتی ہے۔ آپ کو فوکل لمبائی کا خاص خیال رکھنا ہوگا… اس کے علاوہ، چونکہ آئی آر حرارت بہت تیزی سے پیدا ہوتی ہے، لہذا آپ کے کولنگ سسٹم کو بھی اس کا مقابلہ کرنے کے لئے مناسب ہونا ضروری ہے۔ اگر آپ اس تیزی سے ہونے والی تبدیلی کا مقابلہ نہ کر سکیں، تو ویفر خراب ہو جائیں گے۔
اس کا حل کیا ہے؟
حقیقت یہ ہے کہ فورسڈ ایر کا استعمال بے فائدہ ہے… آپ تو ایسی ہوا کو گرم کرنے کے لئے پیسے خرچ کر رہے ہیں، جو آپ کی مصنوعات تک ہی نہیں پہنچتی۔
آئی آر حرارت کا استعمال کرنے سے، آپ کے ہیٹنگ سسٹم کا سائز کم ہو جاتا ہے، اور پروسیسنگ کا وقت بھی کم ہو جاتا ہے۔ اگر آپ مزید ویفرز کو پروسیس کرنا چاہتے ہیں، لیکن مزید مشینیں خریدنا نہیں چاہتے، تو یہی بہترین طریقہ ہے۔