Im Bereich der Lithografie ist das Aushärten des Fotoresists nicht einfach nur ein weiterer Schritt im Produktionsprozess – es handelt sich dabei um einen wichtigen thermischen Prozess, den man auf keinen Fall vernachlässigen darf. Eine Abweichung von einem halben Grad beim Weichen oder Harten Aushärten kann dazu führen, dass die Kontrolle über die kritischen Abmessungen beeinträchtigt wird und das Profil der Seitenwände beeinträchtigt wird. Herkömmliche Öfen weisen eine hohe thermische Masse auf, langsame Temperaturanpassungszeiten sowie das ständige Risiko von Partikeln auf. Der kompakte Infrarot-Trockner für ICs wurde entwickelt, um all diese Probleme zu beseitigen.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Near-Infrared-Emitter mit kurzwelligem Licht und ohne Halogene. Dadurch wird Energie direkt in den Wafer geleitet. Dadurch wird eine Stabilisierung innerhalb von weniger als 10 Sekunden erreicht, und die Homogenität der Temperatur auf der Oberfläche des Wafers beträgt ±0,1°C. Die Temperaturgenauigkeit zwischen den einzelnen Trocknungszyklen liegt bei ±0,2°C – dadurch bleibt das Temperaturprofil des Fotoresists konstant. Der Trockner eignet sich für Reinräume der Klassen 1–100. Er verfügt über versiegelte Quarzfenster sowie eine laminare Entlüftungsanlage, die während des Betriebs eine Partikelbildung verhindert. Die Steuerung erfolgt per PID-Regelung; außerdem ist der Trockner für SECS/GEM-fähige Systeme geeignet. Dadurch können Sie die Trocknungsparameter genau kontrollieren.
Warum er perfekt für die Produktion geeignet ist
Sie arbeiten mit 200-mm- und 300-mm-Wafern sowie dünnen Fotoresist-Schichten. Dabei sind strenge thermische Anforderungen zu erfüllen. Dieser Trockner ermöglicht eine schnelle Temperaturanpassung, ohne dass es zu Überschreitungen kommt. Dadurch werden die Zykluszeiten verkürzt und Energie eingespart. Der Trockner kann direkt in Produktionsanlagen oder als eigenständige Station eingesetzt werden. Seine Abmessungen sind so gering, dass er wenig Platz beansprucht. Dadurch reduziert sich die Anzahl der Ausschusswaren, die Temperaturverteilung wird verbessert und die Produktivität steigt. Die Zuverlässigkeit des Trockners hält auch nach zehntausenden Trocknungszyklen an. Die Lebensdauer der Emittoren reicht aus, um den Trockner rund um die Uhr zu betreiben – dadurch werden Wartungsintervalle verkürzt.
Die Details, die für die Zuverlässigkeit entscheidend sind
Near-Infrarot-Strahlung erwärmt schnell – doch das bedeutet, dass man auf die thermische Kopplung achten muss. Der Chuck muss zur Unterseite des Wafers passen. Wir liefern sowohl Standard- als auch maßgeschneiderte Chucks, damit eine zuverlässige Verbindung gewährleistet wird. Planen Sie einen kurzen Einrichtungsprozess ein, um die Temperaturanpassungsgeschwindigkeit sowie die möglichen Überschreitungen an Ihre speziellen Bedürfnisse anzupassen. Die notwendigen Anschlüsse sind einfach: 110–240 V, Druckluft und Entlüftung. Überprüfen Sie jedoch vor der Installation die lokale Spannung sowie den Druck im Reinraum.