Auf dem Produktionsboden gilt es, bestimmte Standards einzuhalten. Eine Abweichung von 0,3 °C während des Trocknungsprozesses des Photoresists kann dazu führen, dass die Abstände zwischen den Schichten um Nanometer verschoben werden – was wiederum erhebliche Kosten verursachen kann. Die Heizlampen von Evatec sind so konzipiert, dass solche Abweichungen bereits an der Quelle vermieden werden.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-NIR-Kvartzlämpchen mit Schließkreiskontrolle. Dadurch bleibt die thermische Homogenität auf der Waferoberfläche bei ±0,1 °C. Die Reaktionszeit beträgt weniger als 200 ms – das bedeutet, dass Änderungen der Einstellungen schnell umgesetzt werden können, ohne dass es zu Überschreitungen kommt, die die Qualität der Schichten beeinträchtigen könnten. Der Lampenkörper ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet. Zudem sorgt das Design der Lampe dafür, dass keine Verunreinigungen während längerer Betriebszeiten entstehen. Die Leistung der Lampe bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, wobei die Abweichungen unter 5 % liegen.
Warum das in der Lithografie und beim Trocknen von Photoresisten wichtig ist
In der Lithografie und beim Bearbeiten von Photoresisten spielen die Temperaturen beim Trocknen eine entscheidende Rolle – sie bestimmen dabei die genauen Maße sowie die Haftungseigenschaften der Schichten. Evatec sorgt dafür, dass die Trocknungsparameter immer konsistent bleiben, sodass die Qualität der Produkte von Charge zu Charge konstant bleibt. Die Wärmeabgabe ist schnell und stabil – dadurch sinken die Zykluszeiten und die Energiekosten pro Wafer.
Auch in den Verpackungslinien sorgt diese Präzision dafür, dass die Polymerisierung gleichmäßig abläuft – dadurch werden Defekte und Nacharbeiten reduziert. Dadurch entstehen weniger Probleme, weniger Ingenieurprojekte und eine planbare Betriebszeit.
Was man tun muss, um alles im Griff zu haben
Die Lampen passen perfekt in die Evatec-Trockner – doch sie benötigen eine stabile Stromversorgung sowie saubere elektrische Kontakte, damit der Kontrollkreis funktioniert. Auch das Material des Trägerelements sowie seine Emittivität sind wichtig – wir bieten Anleitungshinweise für Aluminium-, Keramik- und beschichtete Oberflächen. Planen Sie vierteljährliche Kalibrierungen sowie jährliche Überprüfungen der Lampen. Nur so bleibt die Homogenität hoch und die Anzahl der Verunreinigungen unter Kontrolle.