בתהליך החלוקה מחדש של האנרגיה, הדבר החשוב ביותר הוא שליטה תרמית. ישנו נקודת חום אחת בזמן ייבוש החומר האפוקסי, ועוד נקודת חום בזמן עיבוד הפוטורזיסט. כתוצאה מכך, יש צורך בשליטה ברוחב הקווים וברמת האחידות של החלקים השונים. החימום חייב להיות אחיד – בכל רכיב, בכל מחזור ייצור, בכל משמרת.
מה באמת חשוב? בנינו את מערכת החימום על בסיס גלאי אינפרא-אדום באורך גל קצר. מדובר בחימום שטחי, מהיר, כך שניתן לשמור על שליטה תרמית מדויקת. באזור הפעיל, יש אחידות של ±0.1°C, כפי שנמדד על גבי סיליקון טהור באמצעות תרמוקפלים. זמן התגובה הוא בשניות, מה שחשוב מאוד כאשר יש צורך בשליטה מדויקת בתהליכי החימום. סביבה נקייה מסוג 1–100 מושגת באמצעות עיצוב שמפחית את פליטת הגזים, ומונע יצירת חלקיקים בזמן הפעולה הרגילה. בשטח, המערכת פועלת 24/7, עם אלפי שעות פעולה ללא צורך בתחזוקה.
למה המערכת עובדת טוב בייצור? בתהליך החלוקה מחדש, יש צורך לחמם את הפוטורזיסט, לייבש את החומר האפוקסי, ולאחר מכן להמיס את החומרים העודפים. כל שלב הוא שלב קריטי בתהליך הייצור. החימום מאפשר שמירה על הממדים הקריטיים, ועל מינימיזציה של החללים הריקים בין החלקים השונים. אחידות גבוהה מפחיתה את שיעור החלקים הפגומים, והאפשרות לחזרה על התהליך הופכת פשוטה יותר. צריכת האנרגיה פוחתת, מכיוון שהגלאי הקוורץ מחמם את האזור הרצוי ישירות, ולא את כל החדר. התוצאה: יותר רכיבים טובים לכל שבב, פחות צורך בתיקונים, ואפשרות לתכנון זמני פעולה בצורה טובה יותר.
דברים שצריך להבין מראש החימום יכול להתחבר למערכות הקיימות לציפוי/חימום, אך שטח ההתקנה והפתחים חייבים להתאים לציוד הקיים. יש צורך באספקת אנרגיה נפרדת, ובמגן שימנע הפרעות אלקטרומגנטיות באזורים רגישים. כאשר טמפרטורת החימום עולה מעל 250°C, יש להיות זהירים לגבי החיבורים בין הקוורץ לקרמיקה – אנו מספקים את העקומה התרמית הנדרשת. חשוב לתכנן את ההתקנה מראש, כדי שהתהליך יתנהל בצורה חלקה.