ウエハーバーンインテスト加熱ランプ

ライン上では、ウェーハの熱予算は固定されている。バーンイン中の一箇所のホットスポットが原因で、故障メカニズムが排除されずにデータに混入してしまう。そこで、私たちはその曖昧さを解消するためにウェーハバーンインテスト用の加熱ランプを開発した。 内部で重要なポイント 高速かつ指向性のある熱を実現するため...