半導体ヒーター用熱電対

IR半導体ヒーターのための正確な温度データの取得方法 スマートファブを構築している場合、単に「温度をチェックするだけでは不十分だ」ということはお分かりでしょう。実際にウエハーに何が起きているかをリアルタイムで把握できるデータが必要です。私たちにとっては、専用の熱電対とIRシステムを組み合わせること...