カーボンナノチューブを作るには、正確な温度勾配を実現することが不可欠です。そのために、私たちはごく小さなスペースに大量の電力を込めるヒーターを作ります。 しかし問題は、そんな大量のエネルギーを扱う際には、ミスの余地が全くないということです。絶縁材にわずかな隙間があれば、コントローラーが破壊されたり...

マシンを加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。 半導体製造現場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハを所定の温度に持っていく必要がありますが、ほとんどの赤外線ランプは、単なる電球のようなもので、熱があらゆる方向に放出されてしまいます。これは無駄遣いです。さらに...