UHP 超高純度 ヒーターランプ
安全を確保するために：不安定な環境でのUHPヒーターランプの使用 化学洗浄ライン内で赤外線ヒーターを使用すると、非常に危険な状況になります。そこには可燃性の蒸気や腐食性の液体があふれています。このような環境では、通常のランプを使うのは悪い選択肢です。むしろ、危険を招くことになります。 そのため、私...
ツインチューブ型の金色コーティング済みランプ
鋳片の発生を止める：なぜ私たちはツインチューブ式の金コーティングランプを選んだのか 大量生産が行われる半導体工場では、ランプが壊れるというのは単なる悩み事ではありません。それはまさに悪夢です。
通常の石英管が壊れると、単に機能しなくなるだけではありません。実際には爆発してしまい、ガラスの破片や金属...
洗浄用防水赤外線ランプ
なぜ半導体の乾燥において熱風ではなく赤外線を使うのか
正直言って、洗浄工程は通常、作業が遅くなる部分です。
長年にわたり、一般的に使われてきたのは熱風循環方式でした。しかし、これは要するに、ウェーハを乾燥させるために巨大な空気の箱を加熱しているに過ぎません。時間や電力の無駄に思えます。
そのため、...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
バイオセンサーの設備を安全に保つために（そして、あなたの精神を健全に保つために）
バイオセンサーを製造する際には、温度を正確にコントロールする必要があります。しかし問題は、わずかな電気的なアークや漏れ電流だけで、一括して作られた敏感な基板がすべて破壊されてしまうことです。さらに悪いことに、ブレーカ...
認定済み赤外線硬化ランプ製造業者
なぜIRランプの絶縁試験にこだわるのか
赤外線硬化ランプを使用するとき、高温と高電圧という過酷な環境に置かれます。そのような環境では、わずかな絶縁不良が起きただけでは済みません。単にヒューズが切れるだけではなく、生産ライン全体が一瞬で破壊されてしまう可能性もあります。さらに悪いことに、その装置は操...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
装置を加熱するのはやめよう：ベンチヒーティングのより良い方法 クリーンルームで働いたことがある人なら、その苦労がわかるでしょう。特定の部品を所定の温度にしなければならないのですが、装置全体をオーブンのようにしてしまうわけにはいきません。
通常の対流式ヒーターは、まるで熱弾のように、熱をあちこちに放...
赤外線ランプ用アルミニウム反射板
熱を無駄にしないために：なぜアルミニウム製の反射板が重要なのか
半導体製造工場では、熱というのはまるで手に負えない存在です。必要な場所に正確に熱を送り込むことができなければ、結果的に混乱が生じます。
IRランプを考えてみてください。多くの人は、ランプ自体が全ての仕事をしていると思っていますが、それ...
炭素繊維赤外線ランプ工場
マシンを加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。
半導体製造現場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハを所定の温度に持っていく必要がありますが、ほとんどの赤外線ランプは、単なる電球のようなもので、熱があらゆる方向に放出されてしまいます。これは無駄遣いです。さらに...
ウェーハ硬化ランプ用反射器
熱を無駄にしないでください：ウェーハを効果的に加熱する方法
もし、ウェーハの加熱のために反射器を使わずにIRランプを使用しているなら、実質的にエネルギーの半分が無駄になっています。
考えてみてください。通常のIRランプは、360度全方位に熱を放出します。狭い加熱室の中では、その半分の熱が壁に当たっ...
半導体用の金コーティングインフラーレッドランプ
金コーティングされた赤外線ランプ：ランプの破損というトラブルなしで、半導体製造ラインを安定して稼働させる
私たちが金コーティングされた赤外線ランプを開発する理由は、単純です。それは、ランプが破損してウェハーが汚染されるといった最悪の事態を避け、大量生産が行えるようにするためです。
24時間365日...
卸売用ウェーハ乾燥ランプ
はじめに ウェーハ乾燥ラインを運用する際、最も重要なのは、装置が絶え間なく動き続けることです。稼働時間こそが何よりも重要なのです。
そこで私たちは、トップブランドに匹敵する性能を持つウェーハ乾燥用ランプを開発しました。単に彼らの製品を真似るだけでなく、同じ原材料を使用し、同じレベルの技術力を投入し...
エヴァテック蒸発器用加熱ランプ
製造現場では、ご存知の通り、フォトレジストを加熱する際に0.3℃の温度変動があるだけで、パターンの精度がナノメートル単位で乱れ、多大な損失を招くことになります。Evatecの蒸発器用ヒーターランプは、そうした温度変動を発生する前に防ぐように設計されています。
実際に重要なのは何か？ 私たちは、クロ...
脱イオン水用乾燥ランプ
リソグラフィーフロア上では、わずか一つの水分でも、全体の品質を台無しにしてしまいます。脱イオン水を使って洗浄する際、水分を完全に除去できなければ、汚染が発生し、フォトレジストの密着性も失われてしまいます。従来の乾燥方法ではウェーハ全体に温度差が生じ、ソフトベークやハードベークのプロセスが乱れてしま...
オゾンフリー赤外線ランプ
ファブフロアではお馴染みのことだが、ベイク温度が0.5℃ずれるだけで重要寸法がナノメートル単位で変動し、いつの間にか大量にスクラップを出してしまう。従来のランプはオゾンも発生させるため、光学系を損傷させ、チャンバーに付着物を作る。これによりパーティクル数が増加し、予期せぬメンテナンスのためにライン...
ウエハーバーンインテスト加熱ランプ
ライン上では、ウェーハの熱予算は固定されている。バーンイン中の一箇所のホットスポットが原因で、故障メカニズムが排除されずにデータに混入してしまう。そこで、私たちはその曖昧さを解消するためにウェーハバーンインテスト用の加熱ランプを開発した。
内部で重要なポイント
高速かつ指向性のある熱を実現するため...