ウェーハ用高精度IRセンサー

熱の無駄遣いをやめよう：ウェーハをより効率的に加熱する方法 シリコンウェーハを加熱するには、正確さが不可欠です。しかし問題は、一般的な赤外線ランプでは熱があらゆる方向に放出されてしまうことです。つまり、360度全方位に熱が広がってしまいます。 狭い半導体製造装置内では、その熱はウェーハに留まらず、...