クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もし、クラス100（ISO 5）の環境で作業を行っているのであれば、エアフィルターだけでは十分ではないことはご存知でしょう。本当の問題は、目に見えない微小な粒子です。 ほとんどの加熱要素は、高温になると微細な粉塵や破片を放出してしまいます...

熱の無駄遣いをやめよう：ウェーハをより効率的に加熱する方法 シリコンウェーハを加熱するには、正確さが不可欠です。しかし問題は、一般的な赤外線ランプでは熱があらゆる方向に放出されてしまうことです。つまり、360度全方位に熱が広がってしまいます。 狭い半導体製造装置内では、その熱はウェーハに留まらず、...

MEMSウェーハを安全に乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、かなり微妙な作業です。水を素早く除去する必要がありますが、力を入れすぎると機械的なストレスが発生し、部品が破壊されてしまいます。 私たちは、赤外線ヒーターと金塗装された反射材を組み合わせることで、この問題を解決しま...

ほこりを防ぐ：実際にゼロ汚染の加熱を実現する方法 クラス100のクリーンルームでは、たった一つのほこりの粒子でも大問題です。もし加熱要素から粒子が飛び出したり、ガスが発生したりすると、数枚のウェーハだけを失うだけでなく、全体の製品を台無しにしてしまいます。これは本当に悪夢的な状況です。 だからこそ...