先進的なウェーハファブ向けゾーン暖房

リソグラフィーフロアでは、フォトレジストのソフトベーク中に0.3℃のドリフトが発生すると、エッチングを通じてライン幅の変動を引き起こし、歩留まりの損失につながる可能性があります。熱的予算では、二度とチャンスはありません。私たちは、温度を必要な場所—ウエハ上、表面全体、およびプロセスウィンドウ内に維...