熱の無駄遣いをやめよう：ウェーハをより効率的に加熱する方法 シリコンウェーハを加熱するには、正確さが不可欠です。しかし問題は、一般的な赤外線ランプでは熱があらゆる方向に放出されてしまうことです。つまり、360度全方位に熱が広がってしまいます。 狭い半導体製造装置内では、その熱はウェーハに留まらず、...

揮発性化学物質の近くでウェーハを加熱する際の安全対策 正直に言って、化学洗浄エリアでウェーハを加熱するのは、まるで火遊びのようなものです。周囲には可燃性の蒸気が漂っており、その真ん中には高熱を発する装置があるのです。もし通常の赤外線ランプを使うと、それはまさに災害を招く行為に他なりません。 私たち...

MEMSウェーハを安全に乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、かなり微妙な作業です。水を素早く除去する必要がありますが、力を入れすぎると機械的なストレスが発生し、部品が破壊されてしまいます。 私たちは、赤外線ヒーターと金塗装された反射材を組み合わせることで、この問題を解決しま...

なぜウェーハ処理においては赤外線加熱の方が優れているのか もしまだ半導体の精密加工に熱風循環方式を使っているのであれば、待ち時間に多くの時間を費やしていることでしょう。赤外線加熱に切り替えるのは、単なる「アップグレード」ではありません。それは、生産性を損なうような無駄な時間をなくすための手段なので...

ほこりを防ぐ：実際にゼロ汚染の加熱を実現する方法 クラス100のクリーンルームでは、たった一つのほこりの粒子でも大問題です。もし加熱要素から粒子が飛び出したり、ガスが発生したりすると、数枚のウェーハだけを失うだけでなく、全体の製品を台無しにしてしまいます。これは本当に悪夢的な状況です。 だからこそ...

熱を無駄にしないでください：ウェーハを効果的に加熱する方法 もし、ウェーハの加熱のために反射器を使わずにIRランプを使用しているなら、実質的にエネルギーの半分が無駄になっています。 考えてみてください。通常のIRランプは、360度全方位に熱を放出します。狭い加熱室の中では、その半分の熱が壁に当たっ...

はじめに ウェーハ乾燥ラインを運用する際、最も重要なのは、装置が絶え間なく動き続けることです。稼働時間こそが何よりも重要なのです。 そこで私たちは、トップブランドに匹敵する性能を持つウェーハ乾燥用ランプを開発しました。単に彼らの製品を真似るだけでなく、同じ原材料を使用し、同じレベルの技術力を投入し...

ファンアウト再配線においては、熱制御が最も重要です。エポキシ樹脂が硬化する際に発生するホットスポット、フォトレジストを加熱する際の温度変動などがあり、これらによって回路幅の制御やバンプの平面性を維持するのが難しくなります。そのため、ヒーターは、すべてのチップ、すべてのロット、すべてのシフトにおいて...

ファブの現場では、どうしても予測不可能な要因があります。例えば、フォトレジストの加熱処理でわずかに温度がずれただけでも、全体の製品が廃棄処分になってしまいます。光ウエハーの処理においては、再現性があり、均一で、クリーンな加熱が不可欠です。そのため、私たちはこのヒーターを、そうした要求に合わせて設計...

ライン上では、ウェーハの熱予算は固定されている。バーンイン中の一箇所のホットスポットが原因で、故障メカニズムが排除されずにデータに混入してしまう。そこで、私たちはその曖昧さを解消するためにウェーハバーンインテスト用の加熱ランプを開発した。 内部で重要なポイント 高速かつ指向性のある熱を実現するため...