なぜ、すべての赤外線ランプをテストするのか？（そして、なぜあなたがそれを気にすべきか） こちらでは、ランダムな抽出検査は行いません。私たちの工場から出荷されるすべての赤外線ランプは、必ず耐圧試験と絶縁抵抗試験を受けます。例外はありません。 現実を言えば、高ワット数の加熱要素をデジタルコントローラー...

リソグラフィーの工程において、フォトレジストの加熱処理は単なる工程の一つではありません。それは、絶対に見過ごしてはならない重要な要素です。ソフトベイクやハードベイクの温度が半度でもずれると、重要な寸法制御が崩れ、ウェーハの側壁形状も乱れてしまいます。従来のオーブンでは、熱容量が大きく、温度上昇が遅...