高速応答赤外線ヒーターバルブ

リソグラフィーフロアでは、95℃のソフトベイクはオプションではなく、仕様です。この温度が±0.5℃ずれてしまうと、フォトレジストのプロファイルが変わります。あなたが苦労しているライン幅の制御が崩れます。必要なのは、瞬時に到達し、安定して保持し、クリーンルームに粒子を放出しない熱です。 内部で重要な...