MEMSセンサウェハ乾燥ヒーター

MEMSウェーハを安全に乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、かなり微妙な作業です。水を素早く除去する必要がありますが、力を入れすぎると機械的なストレスが発生し、部品が破壊されてしまいます。 私たちは、赤外線ヒーターと金塗装された反射材を組み合わせることで、この問題を解決しま...