オーブンを待つのはやめましょう：なぜ半導体加工においてIR加熱が優れているのか もし、依然として半導体の精密加工に熱風循環方式を使っているのであれば、ほとんどの時間を待つことに費やしていることになります。 熱風の仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その後チャンバーを加熱し、最終的にウェー...

スマートファブで適切な加熱を実現するには Industry 4.0向けのスマートファブを構築する際には、従来のやり方で熱を扱う考え方は捨てる必要があります。古くて非効率的なヒーターのことは忘れましょう。デジタル生産ラインを効率的に動かすためには、信頼できる温度データが不可欠です。そして、そのデータ...

クリーンルーム用のトロリーで手をやけどすることはもうやめましょう。 もし、これまで標準的なクリーンルーム用トロリーを使ったことがあるなら、その問題はよくわかるでしょう。ヒーターによって部屋全体が熱くなり、内壁がその熱を吸収します。すると、いつの間にかトロリーの本体が発光するほどになります。実際にそ...

IR半導体ヒーターのための正確な温度データの取得方法 スマートファブを構築している場合、単に「温度をチェックするだけでは不十分だ」ということはお分かりでしょう。実際にウエハーに何が起きているかをリアルタイムで把握できるデータが必要です。私たちにとっては、専用の熱電対とIRシステムを組み合わせること...

金コーティングされた赤外線ランプ：ランプの破損というトラブルなしで、半導体製造ラインを安定して稼働させる 私たちが金コーティングされた赤外線ランプを開発する理由は、単純です。それは、ランプが破損してウェハーが汚染されるといった最悪の事態を避け、大量生産が行えるようにするためです。 24時間365日...

半導体製造機器の部品：大手メーカーの製品との直接比較を行う 私たちは、公正な直接比較を望んでいます。自社の加熱コンポーネントを、高級なウエハー製造用の国際的なブランド製品と同じ条件下でテストしようと思っています。 私たちの言葉だけを信じるのではなく、ご自身で数値を確認してみてください。 詳細：電力...

製造現場では、半導体用のアンダーフィルを硬化させる過程で、熱管理と歩留まりという問題が生じます。もし1つのパッケージが十分に硬化されていない状態で出荷されてしまうと、リフロー処理後に層間剥離が発生し、Cpk値も規定範囲を外してしまいます。私たちは、熱分布を厳密に管理するためにNIRを利用したアンダ...

ファブの現場では、フォトレジストを焼成する際に0.5℃の温度変動があれば、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。ウェーハレベルでの熱管理は単なる提案ではなく、必須の要件です。私たちはこの現実を踏まえて加熱プラットフォームを設計しました。 技術的に重要な点としては、当社の近赤外線放射体アレイに...