なぜウェーハ処理においては赤外線加熱の方が優れているのか もしまだ半導体の精密加工に熱風循環方式を使っているのであれば、待ち時間に多くの時間を費やしていることでしょう。赤外線加熱に切り替えるのは、単なる「アップグレード」ではありません。それは、生産性を損なうような無駄な時間をなくすための手段なので...

スマートファブで適切な加熱を実現するには Industry 4.0向けのスマートファブを構築する際には、従来のやり方で熱を扱う考え方は捨てる必要があります。古くて非効率的なヒーターのことは忘れましょう。デジタル生産ラインを効率的に動かすためには、信頼できる温度データが不可欠です。そして、そのデータ...

製造現場において、乾燥処理というのは単に洗浄後に行う作業だけではありません。実際には、残った水分や不均一な温度が、フォトレジストの表面状態を悪化させ、その特性を乱してしまいます。オーブンがウェハ全体に対して一定の温度を維持できない場合、ウェハの端にビードができたり、表面に剥がれが生じたり、CDの位...