ウェーハ加熱の安全距離

揮発性化学物質の近くでウェーハを加熱する際の安全対策 正直に言って、化学洗浄エリアでウェーハを加熱するのは、まるで火遊びのようなものです。周囲には可燃性の蒸気が漂っており、その真ん中には高熱を発する装置があるのです。もし通常の赤外線ランプを使うと、それはまさに災害を招く行為に他なりません。 私たち...