MEMSウェーハを安全に乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、かなり微妙な作業です。水を素早く除去する必要がありますが、力を入れすぎると機械的なストレスが発生し、部品が破壊されてしまいます。 私たちは、赤外線ヒーターと金塗装された反射材を組み合わせることで、この問題を解決しま...

はじめに ウェーハ乾燥ラインを運用する際、最も重要なのは、装置が絶え間なく動き続けることです。稼働時間こそが何よりも重要なのです。 そこで私たちは、トップブランドに匹敵する性能を持つウェーハ乾燥用ランプを開発しました。単に彼らの製品を真似るだけでなく、同じ原材料を使用し、同じレベルの技術力を投入し...

製造現場において、乾燥処理というのは単に洗浄後に行う作業だけではありません。実際には、残った水分や不均一な温度が、フォトレジストの表面状態を悪化させ、その特性を乱してしまいます。オーブンがウェハ全体に対して一定の温度を維持できない場合、ウェハの端にビードができたり、表面に剥がれが生じたり、CDの位...

リソグラフィーフロア上では、わずか一つの水分でも、全体の品質を台無しにしてしまいます。脱イオン水を使って洗浄する際、水分を完全に除去できなければ、汚染が発生し、フォトレジストの密着性も失われてしまいます。従来の乾燥方法ではウェーハ全体に温度差が生じ、ソフトベークやハードベークのプロセスが乱れてしま...

Fabフロアでは、ウェハーが最終リンスを通過した瞬間からタイマーが動き出す。濡れた状態で長時間放置するとパターンが崩れる。ベーク工程の温度が1度でもずれると、電気的検査まで現れないフォトレジスト欠陥が発生する。 乾燥ヒーターは「あると良いもの」ではなく、実際のプロセス制御点である。 実際に重要なの...

仕事に合った仕様 この衣類乾燥用ヒーターは、400V、2500Wのハロゲン管を中心に設計しており、300mmの長さにしたのには理由があります。 狭いスペースに強力な熱を詰め込むことで、ドラムと送風ダクトを素早く加熱し、大型機械を必要としません。 400Vの定格は、回路側の電流を低く抑えるのに役立ち...