産業用ウェーハ乾燥システムヒーター

Fabフロアでは、ウェハーが最終リンスを通過した瞬間からタイマーが動き出す。濡れた状態で長時間放置するとパターンが崩れる。ベーク工程の温度が1度でもずれると、電気的検査まで現れないフォトレジスト欠陥が発生する。 乾燥ヒーターは「あると良いもの」ではなく、実際のプロセス制御点である。 実際に重要なの...