スマートファブで適切な温度制御を実現するには もしインダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているのであれば、従来の加熱方法では不十分だということに気づいているはずです。単に「ヒーターをつければいい」と考えても意味がありません。正確なデータと精密な制御が必要です。 そこで役立つのが、真空環境...

ストップランプの故障がウェーハの歩留まりを低下させないようにしましょう。 もし真空チャンバー内で高負荷の生産を行っている場合、ランプの破損は単なる問題ではありません。それは悪夢そのものです。石英管が割れると、機械の動作が停止するだけでなく、破片がウェーハに飛び散ります。一度でも破損してしまうと、そ...