オゾンフリー赤外線ランプ

ファブフロアではお馴染みのことだが、ベイク温度が0.5℃ずれるだけで重要寸法がナノメートル単位で変動し、いつの間にか大量にスクラップを出してしまう。従来のランプはオゾンも発生させるため、光学系を損傷させ、チャンバーに付着物を作る。これによりパーティクル数が増加し、予期せぬメンテナンスのためにライン...