クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もし、クラス100（ISO 5）の環境で作業を行っているのであれば、エアフィルターだけでは十分ではないことはご存知でしょう。本当の問題は、目に見えない微小な粒子です。
ほとんどの加熱要素は、高温になると微細な粉塵や破片を放出してしまいます。もし精密なセンサーを包装しているのであれば、これは大きな問題です。私たちは、高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用することでこの問題を解決しました。
石英が重要な理由
私たちは、不純物がほとんど含まれていない融成硅素を使用しています。なぜかというと、品質の低いガラスは「ほこり」を発生させやすいからです。
真空やクリーンルームでは、通常の材料は揮発性有機化合物や金属イオンを漏れ出しがちです。それは見えないものですが、実際に存在しています。私たちは、石英管の表面の残留物をすべて除去するように処理しています。そうすれば、加熱しても純粋な放射エネルギーのみが得られ、破片や煙、センサーワーフの損傷も起こりません。
必要な場所だけに熱を与える
これらのランプは、高強度の短波長赤外線を利用しています。その利点は、チャンバー全体をオーブンのようにすることなく、目的の素材を迅速に加熱できる点です。周囲の空気は影響を受けません。
ただし、注意が必要です。温度上昇の速度には気を付けてください。確かに、これらのランプは大きな熱衝撃にも耐えられますが、狭い空間で100％の負荷で動かすと、冷却システムに負担がかかります。空気の流れが十分でなければ、センサーハウジングが過熱してしまいます。
自動化ラインに組み込む方法
私たちは、これらのランプを自動化ラインに直接取り替えられるように設計しました。工場全体を再設計する必要はありません。
また、シール部分にも重点を置きました。クリーンルームでは、シール部分が壊れやすい場所です。私たちは、セラミックと金属の組み合わせによるシールを使用し、内部のフィラメントが漏れ出ないようにしています。
最後に、精密なPIDコントローラーを併用することをお勧めします。温度を±1℃以内に保つことが重要です。もし温度が上がりすぎると、包装用の接着剤からガスが放出されます。そうなると、センサーの光学特性が損なわれてしまいます。そして、それは取り消すことのできない失敗になります。