熱を無駄にしないために：なぜアルミニウム製の反射板が重要なのか
半導体製造工場では、熱というのはまるで手に負えない存在です。必要な場所に正確に熱を送り込むことができなければ、結果的に混乱が生じます。
IRランプを考えてみてください。多くの人は、ランプ自体が全ての仕事をしていると思っていますが、それは半分の話に過ぎません。しっかりしたアルミニウム製の反射板がなければ、エネルギーの約半分が逆方向に飛んでしまいます。これは電力の無駄遣いであり、結果的にウェーハではなく装置自体が損傷してしまいます。理想的ではありません。
熱を正確に誘導する
私たちは高純度のアルミニウムを使用します。なぜなら、短波および中波のIR光を効果的に反射できるからです。金属を放物線状や楕円形に曲げることで、光子を目的の場所に向けることができます。これは単純な手法ですが、実際に効果があります。そうすれば、出力を危険なレベルまで上げることなく、ウェーハの表面をより高温にすることができます。
電力を節約し、設備を守る
「グリーンファクトリー」を実現したいのであれば、エネルギーの無駄遣いを止める必要があります。加熱処理で無駄になる1キロワット毎に、冷却装置にかかる負担も増えます。
磨かれた反射板を使えば、全体のプロセスが効率的になります。ランプの出力を下げるか、または部品がオーブン内にいる時間を短縮することができます。これにより、作業が速くなり、コストも削減されます。また、装置への負担も減ります。
注意点
アルミニウムは優れていますが、完璧ではありません。製造工場は化学的に厳しい環境です。時間が経つにつれて、その鏡面のような表面には欠けや曇りが生じてしまいます。そうなると、熱の分配が乱れてしまい、ウェーハに「冷たい部分」ができてしまいます。これは品質管理にとって大きな問題です。
これを防ぐために、通常はアノダイズ処理やコーティングを施します。ただし、一部のコーティングでは反射波長が変わってしまうことがあります。使用しているIRランプに合ったコーティングを選ぶ必要があります。さもなければ、再び同じ問題に直面することになります。