鋳片の発生を止める：なぜ私たちはツインチューブ式の金コーティングランプを選んだのか
大量生産が行われる半導体工場では、ランプが壊れるというのは単なる悩み事ではありません。それはまさに悪夢です。
通常の石英管が壊れると、単に機能しなくなるだけではありません。実際には爆発してしまい、ガラスの破片や金属片がウェハーの上に散らばってしまいます。一度でもそうなると、製品の汚染という大問題に直面します。
まさにそのために、私たちはこのようなツインチューブ式の金コーティングランプを開発したのです。二度と「二次的な汚染」の問題が起こらないようにするためです。
「チューブ内にチューブがある」という仕組み
構造はとてもシンプルです。加熱要素を2つ目の外側の石英製のシースの中に入れるのです。これはまるで安全網のようなものです。もし内側のチューブが熱衝撃で割れたり、フィラメントが焼き切れたりしても、外側のシースがすべての破片を受け止めます。その結果、破片は製品の上に落ちることなく、ランプの内部に留まります。これにより、ウェハーと潜在的な汚染源との間に物理的な壁ができます。
なぜ金を使うのか？
金コーティングを施すのは見た目を良くするためではありません。重要なのは熱の扱いです。
金は赤外線を反射する能力が非常に優れています。そのため、熱が機械の筐体に漏れ出る代わりに、再びウェハーに戻されます。これにより、ウェハー上の熱密度が高くなり、電力を多く使わずに所定の温度に到達できます。
さらに、金コーティングによって熱が均一に分布されるため、通常、石英が過度な負荷を受けて割れてしまうような「ホットスポット」もなくなります。
注意点（必ずあるものです）
ただし、注意すべき点もいくつかあります。
金コーティングは薄いため、繊細です。設置時にコーティングを傷つけてしまうと、熱の分布が乱れてしまいます。ですから、丁寧に扱う必要があります。手袋を着用し、研磨剤の使用は避けてください。
また、冷却も忘れてはいけません。金は熱を前方に反射しますが、ランプの端部分は依然として極端に熱くなります。空気の流れが悪いと、それらの接続部が過熱し、ランプの寿命が短くなってしまいます。十分に冷やしておけば、長持ちします。