열 낭비를 막아보세요: 웨이퍼를 더 효과적으로 가열하는 방법 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 정밀도가 매우 중요합니다. 하지만 문제는 일반적인 적외선 램프는 열을 모든 방향으로 방출한다는 점입니다. 즉, 360도로 열이 퍼져나가는 것이죠. 협소한 반도체 처리실에서는 그...

MEMS 웨이퍼를 안전하게 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 매우 까다로운 작업입니다. 물을 빠르게 제거해야 하지만, 너무 세게 처리하면 기계적 스트레스가 생겨 부품이 손상될 수 있습니다. 우리는 적외선 히터와 금으로 코팅된 반사체를 함께 사용하...

먼지를 막는 방법: 진정한 제로 오염 상태의 가열 방법 클래스 100급 청정실에서는 단 한 알의 먼지라도 치명적인 문제가 됩니다. 만약 가열 요소에서 입자나 가스가 발생한다면, 그것은 단순히 몇 개의 웨이퍼를 잃는 것이 아니라, 전체 제품을 버려야 하는 상황이 됩니다...