왜 웨이퍼 처리에는 적외선 가열이 열공기 가열보다 우수한가? 만약 여전히 반도체의 고도화된 처리 과정에서 열공기를 사용하고 있다면, 아마도 대기하는 데 너무 많은 시간을 낭비하고 있을 것입니다. 적외선 가열로 전환하는 것은 단순한 ‘업그레이드’가 아닙니다. 이는 생산...

스마트 팩토리에서 적절한 열 관리를 실현하기 산업 4.0을 위한 스마트 팩토리를 구축할 때는 기존의 방식으로 열을 관리하는 것은 더 이상 효과적이지 않습니다. 그런 구식 가열 장치들은 버리세요. 디지털 생산 라인을 제대로 작동시키려면 신뢰할 수 있는 열 데이터가 필요...

팹 내에서 건조 과정은 단순히 청소 후에 이루어지는 작업이 아닙니다. 남아 있는 수분과 불균일한 열은 리소그래피 공정의 정확성을 해치고 포토레지스트의 특성을 손상시킬 수 있습니다. 오븐이 전체 영역에 일정한 온도를 유지하지 못하면, 가장자리 부분에 문제가 생기거나,...